اعلي درجه حرارت ويڪيوم اجزاء
گرمي جي علاج ۾ بنيادي طور تي آڪسائيڊشن، ڦهلائڻ ۽ اينيلنگ عمل شامل آهن.آڪسائيڊشن هڪ اضافو عمل آهي جنهن ۾ سلڪون ويفرز کي هڪ اعلي گرمي واري فرنس ۾ رکيل آهي ۽ آڪسيجن شامل ڪيو ويندو آهي انهن سان رد عمل ڪري ويفر جي مٿاڇري تي سليڪا ٺاهيندي.ڊفيوشن جو مطلب آهي مواد کي اعلي ڪنسنٽريشن واري علائقي مان گھٽ ڪنسنٽريشن واري علائقي ۾ ماليڪيولر حرارتي حرڪت ذريعي، ۽ ڊفيوشن جي عمل کي استعمال ڪري سگهجي ٿو مخصوص ڊاپنگ مواد کي سلڪون سبسٽرٽ ۾ ڊاپ ڪرڻ لاءِ، ان ڪري سيمي ڪنڊڪٽرن جي چالڪيت کي تبديل ڪري.
